Plasma processing is a central technique in the fabrication of semiconductor devices. This self-contained book provides an up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabr ...Teljes leírás
Plasma processing is a central technique in the fabrication of semiconductor devices. This self-contained book provides an up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication. It presents the basic physics and chemistry of these processes, and shows how they can be accurately modeled. The author begins with an overview of plasma reactors and discusses the various models for understanding plasma processes. He then covers plasma chemistry, addressing the effects of different chemicals on the features being etched. Having presented the relevant background material, he then describes in detail the modeling of complex plasma systems, with reference to experimental results. The book closes with a useful glossary of technical terms. No prior knowledge of plasma physics is assumed in the book. It contains many homework exercises and serves as an ideal introduction to plasma processing and technology for graduate students of electrical engineering and materials science. It will also be a useful reference for practicing engineers in the semiconductor industry.
HATALMAS VÁLASZTÉK
Több mint 4 millió angol nyelvű könyv kitűnő áron.
INGYENES SZÁLLÍTÁS
25 500 Ft vagy nagyobb rendelés esetén a szállítás ingyenes
KITŰNŐ ÁRAK
A könyvek árait igyekszünk a földhöz közel tartani és mindig a kiadó által ajánlott ár alatt.
SZEMÉLYES HOZZÁÁLLÁS
Számunkra a legfontosabb az Ön elégedettsége. Könyveket árulunk, mert szeretjük őket. Nem transznacionális óriások vagyunk, hanem becsületes cseh cég. Ezenfelül a kitűnő könyveket saját blogunkban véleményezzük.
MEGBÍZHATÓ BOLT VAGYUNK A VÁSÁRLÓK ÉRTÉKELÉSE SZERINT
Megkaptuk a "Megbízható Bolt" címet az arukereso.hu portálon. Az értékeléseket megtekintheti itt