Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing

Name: Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing
Brand: Springer Netherlands
SKU: 9789048146963
Price: 153016 HUF
Availability: InStock

Szerző: F. Roozeboom

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: Springer Netherlands

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 5-8 napon belül

153 016 Ft

Rapid thermal and integrated processing is an emerging single-wafer technology in ULSI semiconductor...

Információk a könyvről

Szerző

F. Roozeboom

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2010

oldal

566

EAN

9789048146963

ISBN

9048146968

Enbook ID

01973611

Kiadó

Springer Netherlands

Súly

803

Méretek

160 x 240 x 29

Teljes leírás

Rapid thermal and integrated processing is an emerging single-wafer technology in ULSI semiconductor manufacturing, electrical engineering, applied physics and materials science. Here, the physics and engineering of this technology are discussed at the graduate level. Three interrelated areas are covered. First, the thermophysics of photon-induced annealing of semiconductor and related materials, including fundamental pyrometry and emissivity issues, the modelling of reactor designs and processes, and their relation to temperature uniformity. Second, process integration, treating the advances in basic equipment design, scale-up, integrated cluster-tool equipment, including wafer cleaning and integrated processing. Third, the deposition and processing of thin epitaxial, dielectric and metal films, covering selective deposition and epitaxy, integrated processing of layer stacks, and new areas of potential application, such as the processing of III-V semiconductor structures and thin- film head processing for high-density magnetic data storage.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták