Chemical Vapor Deposition

Name: Chemical Vapor Deposition
Brand: VDM Verlag Dr. Mueller E.K.
SKU: 9783836496841
Price: 19501 HUF
Availability: InStock

Simulation And Optimization

Szerző: Pradeep George

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: VDM Verlag Dr. Mueller E.K.

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 14-21 napon belül

19 501 Ft

The deposition of thin films on to a solid substrate has become an important materials processing te...

Információk a könyvről

Szerző

Pradeep George

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2008

oldal

112

EAN

9783836496841

ISBN

3836496844

Enbook ID

06945250

Kiadó

VDM Verlag Dr. Mueller E.K.

Súly

159

Méretek

152 x 229 x 6

Teljes leírás

The deposition of thin films on to a solid substrate has become an important materials processing technique and is of interest in many applications such as those involved with the fabrication of micro-electronic circuits, optical and magnetic devices, etc. Thin films are generally deposited by the process of Chemical Vapor Deposition (CVD).This work is directed at the simulation and optimization of the CVD process in a vertical impinging CVD reactor for material fabrication, focusing on the rate of deposition and on the uniformity of the thin film obtained. This work considers the deposition of Silicon from Silane. Numerical simulations are used to determine the effect of important design variables on the deposition rate and film characteristics. Then Response surfaces are created using the Compromise Response Surface Method (CRSM) to approximate the responses for the range of design variables considered. Then stochastic optimization is performed using the Mean Value Method (MVM) on the resulting response surfaces to find the optimal values of the design variables for various levels of uncertainty.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Chemical Vapor Deposition

Simulation And Optimization

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták