CMOS Cantilever Sensor Systems

Name: CMOS Cantilever Sensor Systems
Brand: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
SKU: 9783540431435
Price: 38576 HUF
Availability: InStock

Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications

Szerző: Dirk Lange, O. Brand, Henry Baltes

Nyelv:

Kötés: Kemény kötésű

Kiadó: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 10-13 napon belül

38 576 Ft

This book introduces the use of industrial CMOS processes to produce arrays of nanomechanical cantil...

Információk a könyvről

Szerző

Dirk Lange, O. Brand, Henry Baltes

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Kemény kötésű

Kiadva

2002

oldal

142

EAN

9783540431435

ISBN

3540431438

Enbook ID

01564056

Kiadó

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Súly

364

Méretek

166 x 243 x 14

Teljes leírás

This book introduces the use of industrial CMOS processes to produce arrays of nanomechanical cantilever transducers with onchip driving and signal conditioning circuitry. These cantilevers are familiar from Scanning Probe Microscopy (SPM) and allow the sensitive detection of physical quantities such as forces and mass changes. The book is divided into three parts. First fabrication aspects and the mechanisms of cantilever resonators are introduced. Of the possible driving and sensing mechanisms, electrothermal and magnetic excitation, as well as piezoresistive detection and the use of MOS transistors for the deflection detection are introduced. This is followed by two application examples: The use of resonant cantilevers for the mass-sensitive detection of volatile organic compounds, and force sensor arrays for parallel Scanning Atomic Force Microscopy (AFM) of large areas.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

CMOS Cantilever Sensor Systems

Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták