Elaboration de Films de (La, Sr)2nio4 Et (Ba, Sr)Tio3 Par Ablation Laser

Name: Elaboration de Films de (La, Sr)2nio4 Et (Ba, Sr)Tio3 Par Ablation Laser
Brand: Omniscriptum
SKU: 9783838149196
Price: 37200 HUF
Availability: InStock

Szerző: Goux-L

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: Omniscriptum

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37 200 Ft

Cette étude est une tentative d'épitaxie par ablation laser de l'oxyde de forte permittivité Ba0.6Sr...

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Szerző

Goux-L

Nyelv

Francia

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2018

oldal

224

EAN

9783838149196

ISBN

383814919X

Enbook ID

09151970

Kiadó

Omniscriptum

Súly

336

Méretek

152 x 229 x 13

Teljes leírás

Cette étude est une tentative d'épitaxie par ablation laser de l'oxyde de forte permittivité Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) sur silicium en vue de l'intégration de condensateurs de forte capacité. Nous montrons d'abord l'effet bénéfique d'une croissance de BST orientée selon les plans (h00) sur substrat monocristallin SrTiO3(100) sur la valeur de la permittivité du film. Comme par ailleurs nous confirmons que la croissance du BST sur substrat Pt(111)/TiOx/SiO2/Si (0x2) n'est pas épitaxiale mais principalement contrôlée par des mécanismes de diffusion de titane et d'oxygčne, nous cherchons finalement ŕ optimiser la croissance orientée selon son axe-c de l'oxyde La0.9Sr1.1NiO4 sur silicium : cet oxyde conducteur (1 mohm.cm) joue le rôle de patron d'épitaxie pour le BST. Nos mesures électriques indiquent que la qualité d'orientation du BST doit encore ętre améliorée en vue d'obtenir d'excellentes propriétés diélectriques.

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