laboration de Nano-Objets Cristallins (Si Sige) Par Rtcvd

Name: laboration de Nano-Objets Cristallins (Si Sige) Par Rtcvd
Brand: Omniscriptum
SKU: 9786131561801
Price: 34373 HUF
Availability: InStock

Szerző: Clément Pribat

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: Omniscriptum

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 5-8 napon belül

34 373 Ft

Aujourd'hui, la loi de Moore est affectée par les limitations physiques rencontrées dans les technol...

Információk a könyvről

Szerző

Clément Pribat

Nyelv

Francia

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2018

oldal

276

EAN

9786131561801

ISBN

613156180X

Enbook ID

07049126

Kiadó

Omniscriptum

Súly

408

Méretek

152 x 229 x 16

Teljes leírás

Aujourd'hui, la loi de Moore est affectée par les limitations physiques rencontrées dans les technologies avancées entrainant ainsi leur complexification. Il devient alors nécessaire de développer de nouveaux procédés, comme illustré dans le cas de l'épitaxie. Parce que les procédés CVD sont devenus trčs performants, ils offrent des solutions technologiques qui permettent de poursuivre la miniaturisation des composants grâce ŕ leur intégration décisive dans ces technologies. L'objectif de cette thčse est donc de répondre ŕ cette demande de nouveaux procédés par l'étude de l'élaboration de nano-objets Si & SiGe réalisés par RTCVD. Dans cet ouvrage, nous discutons des caractéristiques physiques des films Si & SiGe déposés (ou gravés) en fonction de paramčtres physiques (orientation cristalline, température...) et de paramčtres liés aux impératifs de production (effets de charge, choix d'un procédé...). Dans une derničre partie, nous présentons l'effet de recuits sur des objets Si & SiGe de géométrie et de taille différentes. L'ensemble de nos résultats nous a alors permis d'intégrer efficacement une étape d'épitaxie dans la fabrication d'un dispositif avancé; le transistor FinFET.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

laboration de Nano-Objets Cristallins (Si Sige) Par Rtcvd

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták