Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System

Name: Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System
Brand: Springer Verlag, Japan
SKU: 9784431547945
Price: 19639 HUF
Availability: InStock

Mit online files/update

Szerző: Seiji Samukawa

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: Springer Verlag, Japan

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 5-8 napon belül

19 639 Ft

This book aims to provide a good understanding of the etching profile technologies which do not dist...

Információk a könyvről

Szerző

Seiji Samukawa

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2014

oldal

EAN

9784431547945

ISBN

4431547940

Enbook ID

02303841

Kiadó

Springer Verlag, Japan

Súly

949

Méretek

155 x 235 x 8

Teljes leírás

This book aims to provide a good understanding of the etching profile technologies which do not disturb the plasma for the first time. This book introduces 3 types of sensor such as on-wafer UV sensors, on-wafer charge-up sensors and on-wafer sheath shape sensors in the plasma processing and prediction system of real etching profiles based on monitoring data. Readers are made familiar with these sensors, which can measure real plasma process surface conditions such as defect generations due to UV-irradiation, ion flight direction due to charge-up voltage in high aspect ratio structures and ion sheath conditions at the plasma/surface interface. The plasma etching profile realistically predicted by a computer simulation based on output data from these sensors is described.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using On-wafer Monitoring System

Mit online files/update

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták