Global Modeling and Peripheral Plasma

Name: Global Modeling and Peripheral Plasma
Brand: VDM Verlag Dr. Müller
SKU: 9783639139341
Price: 20540 HUF
Availability: InStock

An Improved Global Model for Electronegative Discharge and Ignition Conditions for Peripheral Plasma Connected to a Capacitive Discharge

Szerző: Sungjin Kim

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: VDM Verlag Dr. Müller

Elérhetőség: Kiadói készleten rendelésre

Küldés 17-27 napon belül

20 540 Ft

In the first part of this book, an improved volume-§averaged global model is developed for a cylindr...

Információk a könyvről

Szerző

Sungjin Kim

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2009

oldal

140

EAN

9783639139341

Enbook ID

06822579

Kiadó

VDM Verlag Dr. Müller

Súly

225

Méretek

150 x 220 x 8

Teljes leírás

In the first part of this book, an improved volume-§averaged global model is developed for a cylindrical §electronegative plasma that is applicable over a wide §range of electron densities, electronegativities, and §pressures. It is applied to steady and pulsed-power §oxygen discharges. The model incorporates effective §volume and surface loss factors for ions and §electrons combining three EN discharge regimes §spanning the plasma parameters and gas pressures of §interest.§The second part explores both theoretically and §experimentally a capacitive discharge connected §through a dielectric or metal slot to a peripheral §grounded region, which is used in commercial dual §frequency capacitive discharges. Ignition of the §peripheral plasma produces effects that are §detrimental to processing performance. Discharge §models are developed for diffusion and plasma §maintenance in the slot, and plasma maintenance in §the periphery. The theoretical predictions of §ignition conditions are compared with experimental §results. Instabilities associated with the loss of §confinement are discovered, and a physical model is §proposed.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Global Modeling and Peripheral Plasma

An Improved Global Model for Electronegative Discharge and Ignition Conditions for Peripheral Plasma Connected to a Capacitive Discharge

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták