Ion Implantation and Synthesis of Materials

Name: Ion Implantation and Synthesis of Materials
Brand: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
SKU: 9783642062599
Price: 39486 HUF
Availability: InStock

Szerző: Michael Nastasi, James W. Mayer

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 5-8 napon belül

39 486 Ft

Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some i...

Információk a könyvről

Szerző

Michael Nastasi, James W. Mayer

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2010

oldal

263

EAN

9783642062599

ISBN

3642062598

Enbook ID

01651532

Kiadó

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Súly

433

Méretek

155 x 235 x 16

Teljes leírás

Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some integrated circuits require up to 17 implantation steps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is an essential feature of implantation. Ion beam processing can also be used to improve corrosion resistance, to harden surfaces, to reduce wear and, in general, to improve materials properties. This book presents the physics and materials science of ion implantation and ion beam modification of materials. It covers ion-solid interactions used to predict ion ranges, ion straggling and lattice disorder. Also treated are shallow-junction formation and slicing silicon with hydrogen ion beams. Topics important for materials modification, such as ion-beam mixing, stresses, and sputtering, are also described.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Ion Implantation and Synthesis of Materials

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták