LPCVD Silicon Nitride and Oxynitride Films
Material and Applications in Integrated Circuit Technology
Szerző:
F. H. P. M. Habraken
Elérhetőség:
Beszállítói készleten
Küldés 5-8 napon belül
19 801
Ft
Based on work done in an ESPRIT project, this study provides a broad overview of the chemical and ph...
