Könyv Micro and Nano Fabrication Hans-Heinrich Gatzen

Micro and Nano Fabrication

Tools and Processes

Nyelv: Angol
Kötés: Kemény kötésű
Elérhetőség: Beszállítói készleten
Küldés 10-13 napon belül
45 831 Ft
For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique pro...

Információk a könyvről

Nyelv
Angol
Kötés
Könyv - Kemény kötésű
Kiadva
2015
oldal
519
EAN
9783662443941
ISBN
3662443945
Enbook ID
05158609
Súly
952
Méretek
164 x 240 x 31

Teljes leírás

For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique process technology.§This book provides a comprehensive insight into the tools required for fabricating MNEMS systems and the process technologies applied. Besides, it describes the enabling technologies which are necessary for successful production, i.e., wafer planarization and bonding, cleanroom, or gas and surface analysis.

Érdekelheti

8 727 Ft

Buried Book

D. M. Pulley
4 536 Ft

Mark

Jerry B Jenkins
5 485 Ft

Bart Starr

David Claerbaut
8 668 Ft
11 506 Ft
12 368 Ft

Shameful Business

James A. Gross
61 391 Ft

At Stake

Edward Ingebretsen
39 870 Ft

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták