Könyv Micro and Nano Fabrication Hans-Heinrich Gatzen

Micro and Nano Fabrication

Tools and Processes

Nyelv: Angol
Kötés: Kemény kötésű
Elérhetőség: Beszállítói készleten
Küldés 10-13 napon belül
46 599 Ft
For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique pro...

Információk a könyvről

Nyelv
Angol
Kötés
Könyv - Kemény kötésű
Kiadva
2015
oldal
519
EAN
9783662443941
ISBN
3662443945
Enbook ID
05158609
Súly
952
Méretek
164 x 240 x 31

Teljes leírás

For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique process technology.§This book provides a comprehensive insight into the tools required for fabricating MNEMS systems and the process technologies applied. Besides, it describes the enabling technologies which are necessary for successful production, i.e., wafer planarization and bonding, cleanroom, or gas and surface analysis.

Érdekelheti

Bart Starr

David Claerbaut
9 704 Ft

Buried Book

D. M. Pulley
4 847 Ft

Essay Collection

Mianne Adufutse
2 340 Ft
8 873 Ft

Mark

Jerry B Jenkins
5 577 Ft
12 575 Ft

Shameful Business

James A. Gross
62 420 Ft

At Stake

Edward Ingebretsen
40 565 Ft
21 314 Ft

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták