Micromirror Technology for Maskless Lithography

Name: Micromirror Technology for Maskless Lithography
Brand: Scholars' Press
SKU: 9783639513653
Price: 26656 HUF
Availability: InStock

Dynamics, Control and Fabrication

Szerző: Chen Yijian

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: Scholars' Press

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 5-8 napon belül

26 656 Ft

This book presents a complete analysis and review of dynamics, control and fabrication of MEMS micro...

Információk a könyvről

Szerző

Chen Yijian

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2013

oldal

156

EAN

9783639513653

ISBN

3639513657

Enbook ID

06847304

Kiadó

Scholars' Press

Súly

236

Méretek

152 x 229 x 9

Teljes leírás

This book presents a complete analysis and review of dynamics, control and fabrication of MEMS micromirrors for applications in DUV and EUV maskless lithography. The transient and resonant behavior of various types of electro-mechanically damped micromirrors with various degrees of freedom are discussed. The theoretical approach using the perturbation method and linear control theory is described. Micromirror design and fabrication issues including the material properties, process integration, and device reliability are addressed. Novel processing solutions such as the self-aligned spacer patterning technique to define nano-scale actuation gaps for low-voltage operation are introduced. Fabrication results of highly complicated 3-D MEMS devices such as vertical-comb tilting micromirrors and double-flexure piston micromirrors are demonstrated. This book serves as an excellent in-depth source of MEMS dynamics, control, and fabrication knowledge for both graduate students and experienced researchers.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Micromirror Technology for Maskless Lithography

Dynamics, Control and Fabrication

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták