Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Name: Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Brand: Materials Research Society
SKU: 9781558992900
Price: 9045 HUF
Availability: PreOrder

Szerző: Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Nyelv:

Kötés: Kemény kötésű

Kiadó: Materials Research Society

Elérhetőség: Utánnyomás

Megjelenés ismeretlen

9 045 Ft

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in t...

Információk a könyvről

Szerző

Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Kemény kötésű

Kiadva

1995

oldal

455

EAN

9781558992900

ISBN

1558992901

Enbook ID

02060050

Kiadó

Materials Research Society

Súly

795

Méretek

160 x 231 x 30

Teljes leírás

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in traditional RTP processes such as dielectric growth, annealing and silicides, as well as developments in integrated processes. The primary focus, however, is the manufacturing aspects of RTP and the successful integration of RTP into production semiconductor fabs. Emphasis is placed on process and equipment modelling and the critical aspects of RTP, such as temperature measurement, uniformity and control. Topics include: modelling, sensors and control; integrated processing and manufacturing; dielectrics; epitaxy, polysilicon and devices; and junctions, metallization and contacts.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták