Semiconductor Wafer Cleaning Using Megasonics

Name: Semiconductor Wafer Cleaning Using Megasonics
Brand: VDM Verlag Dr. Mueller E.K.
SKU: 9783639090307
Price: 22776 HUF
Availability: InStock

Role of Electro-Acoustic and Cavitation Effects in Electrolyte Solutions

Szerző: Keswani Manish

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: VDM Verlag Dr. Mueller E.K.

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 9-15 napon belül

22 776 Ft

Megasonic cleaning is routinely used in the §semiconductor industry to remove particle §contaminants...

Információk a könyvről

Szerző

Keswani Manish

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2008

oldal

172

EAN

9783639090307

ISBN

3639090306

Enbook ID

06818136

Kiadó

VDM Verlag Dr. Mueller E.K.

Súly

248

Méretek

154 x 227 x 9

Teljes leírás

Megasonic cleaning is routinely used in the §semiconductor industry to remove particle §contaminants from wafer and mask surfaces. Cleaning §is achieved through proper choice of chemical §solutions, power density & frequency of acoustic §field. Considerable work has been done to increase §the understanding of particle removal mechanisms in §megasonic cleaning using different solution §chemistries with varying ionic strengths. However, §to date, the focus of all these studies of particle §removal has been either cavitation or acoustic §streaming. It is well known that the propagation of §sound through a colloidal dispersion containing ions§results in the generation of two types of §oscillating electric potentials, namely, Ionic §Vibration Potential & Colloid Vibration Potential. §This book reviews some of the current work that §shows that these potentials and their associated §electric fields can exert significant forces on §charged particles adhered to a surface, resulting in§their removal.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Semiconductor Wafer Cleaning Using Megasonics

Role of Electro-Acoustic and Cavitation Effects in Electrolyte Solutions

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták