Serielles Co-Sputtern

Name: Serielles Co-Sputtern
Brand: Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG
SKU: 9783838130835
Price: 26824 HUF
Availability: InStock

Ein innovatives Beschichtungsverfahren zur Herstellung funktioneller, mehrkomponentiger Dünnschichten

Szerző: Michael Austgen

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG

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26 824 Ft

Schwerpunkt dieses Buches ist der Aufbau und die Inbetriebnahme einer vielseitigen Vakuum-Beschichtu...

Információk a könyvről

Szerző

Michael Austgen

Nyelv

Német

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2012

oldal

196

EAN

9783838130835

ISBN

3838130839

Enbook ID

06862533

Kiadó

Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschriften AG

Súly

295

Méretek

152 x 229 x 11

Teljes leírás

Schwerpunkt dieses Buches ist der Aufbau und die Inbetriebnahme einer vielseitigen Vakuum-Beschichtungsanlage auf Basis der Magnetron Sputterdeposition. Der simultane Betrieb mehrerer Beschichtungsquellen und die spezielle Prozessführung des seriellen Co-Sputterns erlauben eine kombinatorische Materialsynthese mit stufenlos variabler Stöchiometrie (oder variablem Dotierungsgrad). Zudem ermöglicht eine ausgeklügelte Gasseparation eine gegenüber dem konventionellen Co-Sputtern kontrollierbarere Prozessführung. Dadurch ist die Herstellung funktioneller Schichten sowie die Abscheidung von Legierungen möglich, welche aus physikalischen und fertigungstechnischen Gründen nicht als Target erhältlich sind. Das Verständnis der Prozessdynamik des seriellen Co-Sputterns wird hier am Beispiel der Prozesscharakterisierung der Ratenerhöhung der Metalloxide Al2O3 und TiO2 entwickelt. Durch Co-Dotierung mit schweren Atomen kann die Sputterausbeute des Metalloxids ohne erhebliche Mehrinvestition an elektrischer Leistung deutlich erhöht werden.

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