Silicon Semiconductor Technology

Name: Silicon Semiconductor Technology
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783658410407
Price: 24568 HUF
Availability: InStock

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Szerző: Ulrich Hilleringmann

Nyelv:

Kötés: Puha kötésű

Kiadó: Springer, Berlin

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 8-11 napon belül

24 568 Ft

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro...

Információk a könyvről

Szerző

Ulrich Hilleringmann

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Puha kötésű

Kiadva

2023

oldal

276

EAN

9783658410407

Enbook ID

43050800

Kiadó

Springer, Berlin

Súly

524

Méretek

168 x 240

Teljes leírás

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Silicon Semiconductor Technology

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták