Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Name: Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications
Brand: John Wiley & Sons Inc
SKU: 9780470016084
Price: 75158 HUF
Availability: InStock

Szerző: Hiroyuki Fujiwara

Nyelv:

Kötés: Kemény kötésű

Kiadó: John Wiley & Sons Inc

Elérhetőség: Beszállítói készleten

Küldés 14-21 napon belül

75 158 Ft

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semicond...

Információk a könyvről

Szerző

Hiroyuki Fujiwara

Nyelv

Angol

Kötés

Könyv - Kemény kötésű

Kiadva

2007

oldal

392

EAN

9780470016084

ISBN

0470016086

Enbook ID

04878436

Kiadó

John Wiley & Sons Inc

Súly

762

Méretek

157 x 235 x 26

Teljes leírás

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Leggyakrabban keresett

Categories

Authors

Publishers

Termékek

Termékek

Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Információk a könyvről

Teljes leírás

Érdekelheti

Azok a vásárlók, akik ezt a könyvet megvásárolták, a következőket is megvásárolták